OVEN > 제품소개 > 반도체·디스플레이 > OVEN LCD/OLED 전공정 설비로, PID 제어에 따른 열풍 순환방식을 통해 온도 균일성이 확보되며, 고온 및 고성능 헤파 필터(HEPA Filter)를 적용하여 판넬 오염 방지는 물론 흄 제어(Fume Control)까지 가능한 장비 반도체·디스플레이 온라인상담 설비사양 Description General specification Temp. Range Ambient ~ 350℃ Temp. Uniformity ±3%℃ Loading/Unloading Robot 반송 System Panel Size ~ 8G Glass