AUTOCLAVE

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LCD/OLED 후공정 중 필름이 부착된 판넬에 온도와 압력을 통해 기포를 제거하여 제품의 품질을 높이는 장비로, 반도체 공정에서는 보이드(void) 제거와 DAF 경화에도 활용

Description	General specification
Temp. Range	80℃ ~ 250℃
Temp. Uniformity	±3%℃
Pressure Range	0 ~ 10bar
Panel Size	3” ~ 115" (소형에서 대형까지 가능)

OLED VACUUM OVEN

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진공상태에서 온도를 인가하여 CARRIER에 불순물 가스를 방출 시키는 장비로 저진공은 드라이펌프로 진공형성하고 고진공은 Cryo Pump로 진공공정을 완성한다. 열원은 sheath heater로 구성 되어있다

Description		General specification
Spec	Size	4000(W) x 4600(L) x 4400(H)
	Interior	SUS304 40T
	Exterior	SUS304 40T, 보강 SUS 304 25~30T
Temp	Heating Unit	Sheath heater
	Range	400 ℃(Heater 기준)
	Sensor	K-Type
Vacuum	Pumping	Dry Pump : 0.075Torr(10Pa) Cryo Pump: 3.7-6Torr(5.0-4Pa)
Gage	Gage	Atm Switch – Detect of ATM Prani Gage - Detect of Middle Vacuum Ion Gage – Detect of High Vacuum
etc	Composition	Main Chamber Heater Transport Shield box Transport / Cassette Util line

VACUUM CHAMBER

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저온물성의 빠른 건조, 반도체 및 전자부품 에폭시 등 절연물의 원료 탈포·증착, 그리고 PCB Line 등 다용도의 진공건조 분위기를 제공하는 장비

Description		General specification
Material	Interior	Stainless Steel plate
	Exterior	Steel Plate With Powder Coating
Temp	Controller	Digital P.I.D auto-tuning program controller
	Range	Ambient ~ 350℃
	Sensor	C.A (K) sheath type
Vacuum	Range	760 ~ 10-6 Torr
	Gauge	Vacuum gauge (Digital type)

HP/CP SYSTEM

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LCD/OLED 전공정 중 코팅 후 열처리 장비로, 핫 플레이트 및 쿨 플레이트 시스템을 적용하여 흄 제어(Fume Control)와 악취(Odor) 확산 방지가 가능하며, 배관의 간결화로 유지보수성이 뛰어남

Description		General specification
Temp. Range	HP	Ambient ~ 240℃
	CP	20℃ ~ -5℃
Temp. Uniformity	HP	±1%℃
	CP	±5%℃
Heating Unit		Mica Heater & Line Heater
Loading/Unloading		Robot 반송 System
Panel Size		~ 8G Glass

THC(TEMP.HUMI. CONTROL UNIT)

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LCD / OLED / Semiconductor / PCB 등 생산시 불규칙한 제품 혹은 주변환경의 온도 및 습도를 일정하게 제어 하여 생산 품질을 높이는 장비

Description	General specification
Temp. Range	20℃ ~ 25℃
Temp. Stability	±0.05℃
Temp. Uniformity	±0.1℃
Humi. Range	30% ~ 50% RH
Humi. Distribution	±2%
Air Volume	~Max 300CMM
Cooling Type	수냉식 / 공냉식
Applied Sample	LCD / OLED / Semiconductor / PCB 등

TCU(TEMPERATURE CONTROL UNIT)

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LCD/OLED의 메인 공정인 노광기 투입 전에 불규칙한 판넬의 온도를 일정하게 제어하여 제품의 품질을 높이는 장비

Description	General specification
Temp. Range	20℃ ~ 25℃
Temp. Stability	±0.05℃
Temp. Uniformity	±0.1℃
Cleanliness	10 Class
Panel Size	5G ~ 11G

OVEN

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LCD/OLED 전공정 설비로, PID 제어에 따른 열풍 순환방식을 통해 온도 균일성이 확보되며, 고온 및 고성능 헤파 필터(HEPA Filter)를 적용하여 판넬 오염 방지는 물론 흄 제어(Fume Control)까지 가능한 장비

Description	General specification
Temp. Range	Ambient ~ 350℃
Temp. Uniformity	±3%℃
Loading/Unloading	Robot 반송 System
Panel Size	~ 8G Glass

FURNACE

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LCD/OLED 전공정에 걸쳐 TFT/CF 각 공정 처리 후 IR Panel을 가열·건조하는 장비로, IR Heater를 사용하여 수명이 반영구적이고, 청정 상태로 공정이 가능하며, 효율이 우수함

Description	General specification
Temp. Range	80℃ ~ 250℃
Temp. Uniformity	±3%℃
Loading/Unloading	Conveyor System
Panel Size	~ 8G Glass